Затем по известному распределению поля и формуле (2.2) можно определить заряд каждого проводника. Взаимная частичная емкость между проводниками i и k определяется выражением
Cik = dQi/dUk, (2.13)
где Uk – потенциал на проводнике k.
Собственная частичная емкость проводника i вычисляется по (2.13) при k=i. В зависимости от конкретных требований к анализу емкостей межсоединений конструктивов ЭС задачу (2.11) можно решать в трехмерной или двухмерной формулировке. При этом можно рассматривать конструктив полностью или же ограничиться исследованием некоторой его области, например, проводников в канале СБИС или же межсоединений в одном сигнальном слое МПП.
Решение уравнения (2.11) для структуры конструктива возможно следующими методами:
– методом конечных разностей;
– методом конечных элементов (МКЭ);
– методом граничных элементов.